Jednostka centrowania z kontrolą temperatury i poziomym czujnikiem kontaktowym – 5 × 5 mm

Kamera może być używana do obserwacji relacji pozycyjnej próbek. Jednostka obserwacji pionowej i opcjonalna jednostka obserwacji poziomej umożliwiają obserwację z obu kierunków. Regulacja jednostki może być wybierana pomiędzy ręcznymi a automatycznymi platformami. Obserwacja pionowa jest standardowa z regulowanym powiększeniem przy użyciu obiektywu zoom. Obserwacja pozioma jest przy stałym powiększeniu (1x), ale może być zmieniona na obiektyw zoom na życzenie. Oś X Oś Y Oś Z Część produktu/Numer katalogowy TAMM100-50C TAMM100-50C TAMM100-100C Zakres ruchu 50mm 50mm 100mm Rozdzielczość (pełna) 2µm 2µm 2µm Rozdzielczość (połowiczna) 1µm 1µm 1µm Dokładność pozycjonowania <6μm <6μm <6μm Powtarzalność pozycji <1µm <1µm <1µm