SKU: CONTROL_FS_SPX
Dedykowany kontroler FS-SPX dla stolika ze sprzężeniem zwrotnym 5nm
FS-SPX Dedicated Controller for 5nm Ｆeedback Stage
Dedykowany kontroler do stolika ze sprzężeniem zwrotnym o rozdzielczości 5 nm (seria FS-SPX), zapewniający sterowanie z rozdzielczością 5 nm. Bezpieczny i łatwy w obsłudze, wyposażony w liczne funkcje wykrywania błędów, uniwersalne wejścia/wyjścia oraz funkcje uczenia (teaching).
