Soczewki ogniskujące do lasera ekscymerowego

. Składają się z 2 lub 3 soczewek sferycznych i oferują korekcję aberracji sferycznej i komatycznej. Standardowe ogniskowe dla lasera Excimer przy 248nm, 266nm i 355nm. NA 0.1 lub poniżej (model ETL NA 0.25) może być skupione do granicy dyfrakcji.