SKU: FC-411

Kontrolery do stolików o rozdzielczości 50nm, 2-osiowe, dla stolików serii FS-X (z wyjątkiem FS-3200X, 3300X i 3400X)

50nm-Resolution Stage Controllers, 2-axes, for FS-X Series Stages (except FS-3200X, 3300X, and 3400X)

Dedykowany kontroler do stolików ze sprzężeniem zwrotnym o rozdzielczości submikronowej (seria FS-X), umożliwiający sterowanie z rozdzielczością submikronową. Bezpieczny i łatwy w obsłudze, wyposażony w różne funkcje wykrywania błędów, wejścia/wyjścia ogólnego przeznaczenia oraz funkcje uczenia.