SKU: FC-511

Kontrolery do stolików o rozdzielczości 10nm, 2-osiowe, dla stolików serii FS-PX (z wyjątkiem FS-3200PX)

10nm-Resolution Stage Controllers, 2-axes, for FS-PX Series Stages (except FS-3200PX)

Dedykowany kontroler do stolików ze sprzężeniem zwrotnym o rozdzielczości 10 nm (seria FS-PX), umożliwiający sterowanie z rozdzielczością 10 nm. Bezpieczny i łatwy w obsłudze, wyposażony w różne funkcje wykrywania błędów, wejścia/wyjścia ogólnego przeznaczenia oraz funkcje uczenia.